7 (495) 201-53-02
HE-960LF / FS-09F-1/2, кондуктометр с плоским графитовым электродом - HORIBA
Артикул: HE-960LF / FS-09F-1/2
Производитель: HORIBA
Наличие: Под заказ
HORIBA HE-960LF / FS-09F-1/2 - кондуктометр для контроля разбавления slurry и стабилизации процесса полировки wafer. Прибор работает по 2-электродному методу, поддерживает датчики с постоянной ячейки 0,1/см и 1,0/см, измеряет электропроводность до 10000 мкСм/см, температуру 0–100 °C и пользовательский пересчёт концентрации до 10,000 %.
Описание Характеристики Рекомендуемые товары
Описание
Описание
HE-960LF / FS-09F-1/2 — панельный кондуктометр HORIBA с плоским химически стойким графитовым сенсором. Прибор предназначен для измерения электропроводности и контроля концентрации slurry в технологических процессах, связанных с производством и полировкой пластин.
Основная задача HE-960LF — поддержание заданных значений электропроводности, что помогает стабилизировать уровень разбавления slurry и процесс полировки wafer. Прибор применяется там, где требуется контроль химической среды без добавления металлических электродных материалов в зону контакта с пробой.
Модель HE-960LF работает по 2-электродному методу и поддерживает датчик FS-09F-1/2. Для измерения доступны диапазоны электропроводности в зависимости от постоянной ячейки 0,1/см или 1,0/см. Также предусмотрен пользовательский пересчёт концентрации по формулам Option 1 и Option 2 в диапазоне 0–10,000 %.
Преимущества HE-960LF / FS-09F-1/2
- Плоский химически стойкий графитовый сенсор для контроля slurry
- Измерение электропроводности в диапазонах до 10000 мкСм/см
- Поддержка пользовательского пересчёта концентрации до 10,000 %
- 4 передающих выхода 4–20 мА / 0–20 мА
- 5 релейных выходов для аварийной сигнализации и самодиагностики
- RS-485 для передачи данных в систему управления
Меры по применению
Перед применением HE-960LF необходимо выбрать диапазон измерения в соответствии с постоянной ячейки датчика: 0,1/см или 1,0/см. Для контроля slurry следует учитывать требуемый диапазон электропроводности, заданную формулу пересчёта концентрации и условия пробы.
Для датчика FS-09F-1/2 указаны условия пробы: давление 0…0,3 МПа при температуре 20…30 °C, температура пробы 20…30 °C, расход 0…10 л/мин. Для получения актуального значения необходимо обеспечить достаточный поток через датчик. Если разница между температурой окружающей среды и температурой пробы составляет 5 °C, возможна погрешность измерения около 1 °C.
Данные по относительной влажности в предоставленной спецификации не указаны. Строка «−25…+65 °C» логически относится к температуре хранения, поэтому в таблице она указана отдельно как температура хранения.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Наименование продукта | Flat Carbon Sensor Conductivity Meter |
| Модель преобразователя | HE-960LF |
| Совместимый датчик | FS-09F-1/2 |
| Тип прибора | Кондуктометр с плоским графитовым сенсором |
| Назначение | Контроль концентрации slurry, стабилизация разбавления slurry, контроль процесса полировки пластин |
| Метод измерения | Электродный тип, 2-электродный метод |
| Температурный датчик | Платиновое сопротивление 1000 Ом/°C |
| Диапазоны измерения | |
| Электропроводность, постоянная ячейки 0,1/см | 0,00…20,00 мкСм/см; 0,0…200,0 мкСм/см; 0…1000 мкСм/см |
| Электропроводность, постоянная ячейки 1,0/см | 0,0…200,0 мкСм/см; 0…2000 мкСм/см; 0…10000 мкСм/см |
| Примечание по диапазону сырой электропроводности | Диапазон измерения raw conductivity переключается изменением настройки |
| Температура | 0…100 °C; фактический диапазон измерения температуры зависит от характеристик подключённого датчика |
| Пересчёт концентрации, Option 1 и Option 2 | 0…10,000 %; формула пересчёта задаётся пользователем, включая температурную компенсацию и пересчёт концентрации |
| Повторяемость | |
| Электропроводность, 0,00…20,00 мкСм/см при 0,1/см; 0,0…200,0 мкСм/см при 1,0/см | В пределах ±0,5 % полной шкалы |
| Электропроводность, 0,0…200,0 мкСм/см и 0…1000 мкСм/см при 0,1/см; 0…2000 мкСм/см и 0…10000 мкСм/см при 1,0/см | В пределах ±1,0 % полной шкалы |
| Повторяемость температуры | ±0,5 °C |
| Условие повторяемости | Эквивалентный вход |
| Линейность | |
| Электропроводность, 0,00…20,00 мкСм/см при 0,1/см; 0,0…200,0 мкСм/см при 1,0/см | В пределах ±0,5 % полной шкалы |
| Электропроводность, 0,0…200,0 мкСм/см и 0…1000 мкСм/см при 0,1/см; 0…2000 мкСм/см и 0…10000 мкСм/см при 1,0/см | В пределах ±1,0 % полной шкалы |
| Линейность температуры | ±0,5 °C |
| Условие линейности | Эквивалентный вход |
| Передающие выходы | |
| Количество выходов | 4 |
| Тип выходов | DC 4–20 мА / 0–20 мА, изолированный вход/выход |
| Максимальное сопротивление нагрузки | 900 Ом |
| Диапазон передающего выхода | Свободная настройка в пределах диапазона измерения |
| Особенность отрицательных клемм | Отрицательные клеммы каждого канала передающего выхода соединены внутри и имеют одинаковый электрический потенциал |
| Контактные выходы | |
| Количество реле | 5 |
| Контакты ALARM R1, R2, R3, R4 | Релейный контакт SPST (1a) |
| Номинал контактов R1–R4 | 240 В AC, 1 А или 30 В DC, 1 А, резистивная нагрузка |
| Функция контактов R1–R4 | Верхняя или нижняя ON/OFF-сигнализация по каждому измеряемому параметру |
| Действие контактов R1–R4 | Замкнуты при событии; разомкнуты в нормальном состоянии или при отключении питания |
| Общая клемма R1, R2, R3 | R1, R2 и R3 используют общую клемму |
| Контакт самодиагностики RF | Релейный контакт SPDT (1c) |
| Номинал контакта RF | 240 В AC, 1 А или 30 В DC, 1 А, резистивная нагрузка |
| Действие контакта C-NO | Замкнут в нормальном состоянии; разомкнут при обнаружении ошибки или отключении питания |
| Общая клемма R4 и RF | R4 и RF используют общую клемму |
| Контактный вход и связь | |
| Количество входов | 1 |
| Тип входа | Открытый коллектор, безнапряжённый контакт |
| Функция входа | Команда Hold |
| Коммуникационный выход | RS-485 |
| Самодиагностика | |
| Диагностика датчика | Короткое замыкание и обрыв температурного датчика |
| Ошибка преобразователя | Да |
| Температурная компенсация электропроводности | |
| Пользовательский температурный коэффициент | Опорная температура 25 °C; температурный коэффициент 0…5 %/°C |
| Пользовательская формула температурной компенсации | Опорная температура 25 °C; формула задаётся пользователем |
| Без температурной компенсации | Да |
| Диапазон температурной компенсации | 0…100 °C; компенсация ниже 0 °C и выше 100 °C расширяется функцией |
| Условия эксплуатации и питание | |
| Температура окружающей среды | 5…45 °C |
| Относительная влажность | — |
| Температура хранения | -25…+65 °C |
| Питание | 24 В DC |
| Потребляемая мощность | Максимум 10 Вт |
| Конструкция | |
| Тип установки | Панельный монтаж, для использования внутри помещений |
| Материал панельного корпуса | ABS |
| Материал клемм | PBT |
| Передняя панель | IP65, пыле- и водозащищённое исполнение |
| Соответствие CE | EMC Directive EN61326-2-3 |
| FCC Rule | FCC Part 15 |
| Масса преобразователя | Около 550 г |
| Габариты преобразователя | 96 × 96 × 115 мм |
| Глубина корпуса при панельном монтаже | Около 105 мм |
| Датчик FS-09F-1/2 | |
| Модель датчика | FS-09F-1/2; FS-09F-1/2-200 |
| Материалы, контактирующие со средой | Glass carbon, PFA, Kalrez® 6375 |
| Размер трубы | 1/2 дюйма |
| Расход | 0…10 л/мин; необходимо поддерживать достаточный расход для измерения актуальной пробы |
| Давление пробы | 0…0,3 МПа при температуре 20…30 °C |
| Температура пробы | 20…30 °C |
| Температурное примечание | Если разница между температурой окружающей среды и температурой пробы составляет 5 °C, возможна погрешность измерения около 1 °C |
| Длина кабеля | Около 3,5 м |
Характеристики
| Область применения | Контроль технологических процессов, Промышленный |
| Тип | Промышленный |
| Индустрия | Химическая, Муниципальная, Полупроводниковая |
Рекомендуемые товары
HE-200C, кондуктометр - HORIBA
HE-200C — промышленный кондуктометр наружного исполнения для непрерывного контроля электропроводности, TDS и температуры воды. Предназначен для чистой воды, котловой воды, фармацевтических процессов и промышленных систем водоподготовки.
Артикул: HE-200C
Сравнить
HE-300C, кондуктометр - HORIBA
HE-300C — промышленный кондуктометр наружного исполнения для непрерывного измерения электропроводности, TDS и температуры воды. Предназначен для чистой воды, котловой воды и фармацевтических производственных процессов.
Артикул: HE-300C
HE-200H, кондуктометр - HORIBA
HE-200H — промышленный кондуктометр наружного исполнения для измерения электропроводности, температуры, солёности и концентрации растворов. Предназначен для CIP-мойки, контроля промывки, сточных вод, морской воды, гидропонных растворов и технологических процессов.
Артикул: HE-200H
HE-480C, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480C — промышленный кондуктометр для панельного монтажа, предназначенный для контроля электропроводности, TDS и температуры. Применяется для чистой воды, котловой воды и мониторинга очистки сточных вод.
Артикул: HE-480C
HE-960CW, двухканальный панельный кондуктометр - HORIBA
HE-960CW — промышленный двухканальный кондуктометр для панельного монтажа. Предназначен для контроля фармацевтической воды, WFI, чистой воды до 2000 мкСм/см и мониторинга температуры при SIP-стерилизации.
Артикул: HE-960CW
HE-480H, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480H - промышленный панельный кондуктометр для контроля электропроводности, температуры и солёности. Предназначен для сточных вод, морской воды, гидропонных питательных растворов и технологического мониторинга.
Артикул: HE-480H
HE-960HI, четырёхэлектродный панельный кондуктометр - HORIBA
HE-960HI — промышленный панельный кондуктометр HORIBA для измерения электропроводности, температуры и концентрации растворов. Предназначен для производственной воды, санитарных датчиков FES и расширенного концентрационного контроля в технологических процессах.
Артикул: HE-960HI
HE-480C-GC, кондуктометр с графитовым электродом - HORIBA
HE-480C-GC — панельный кондуктометр низкоконцентрационного типа с химически стойким графитовым электродом. Предназначен для контроля электропроводности химических растворов, разбавления реагентов и рециркуляции ультрачистой воды в полупроводниковых wet-процессах.
Артикул: HE-480C-GC
HE-960LC, кондуктометр с графитовыми электродами - HORIBA
HE-960LC - низкоконцентрационный кондуктометр HORIBA с химически стойкими графитовыми электродами. Предназначен для контроля электропроводности химических растворов и ультрачистой воды в полупроводниковом и FPD-производстве.
Артикул: HE-960LC
Рекомендуемые товары
HE-200C, кондуктометр - HORIBA
HE-200C — промышленный кондуктометр наружного исполнения для непрерывного контроля электропроводности, TDS и температуры воды. Предназначен для чистой воды, котловой воды, фармацевтических процессов и промышленных систем водоподготовки.
Артикул: HE-200C
HE-300C, кондуктометр - HORIBA
HE-300C — промышленный кондуктометр наружного исполнения для непрерывного измерения электропроводности, TDS и температуры воды. Предназначен для чистой воды, котловой воды и фармацевтических производственных процессов.
Артикул: HE-300C
HE-200H, кондуктометр - HORIBA
HE-200H — промышленный кондуктометр наружного исполнения для измерения электропроводности, температуры, солёности и концентрации растворов. Предназначен для CIP-мойки, контроля промывки, сточных вод, морской воды, гидропонных растворов и технологических процессов.
Артикул: HE-200H
HE-480C, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480C — промышленный кондуктометр для панельного монтажа, предназначенный для контроля электропроводности, TDS и температуры. Применяется для чистой воды, котловой воды и мониторинга очистки сточных вод.
Артикул: HE-480C
HE-960CW, двухканальный панельный кондуктометр - HORIBA
HE-960CW — промышленный двухканальный кондуктометр для панельного монтажа. Предназначен для контроля фармацевтической воды, WFI, чистой воды до 2000 мкСм/см и мониторинга температуры при SIP-стерилизации.
Артикул: HE-960CW
HE-480H, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480H - промышленный панельный кондуктометр для контроля электропроводности, температуры и солёности. Предназначен для сточных вод, морской воды, гидропонных питательных растворов и технологического мониторинга.
Артикул: HE-480H
HE-960HI, четырёхэлектродный панельный кондуктометр - HORIBA
HE-960HI — промышленный панельный кондуктометр HORIBA для измерения электропроводности, температуры и концентрации растворов. Предназначен для производственной воды, санитарных датчиков FES и расширенного концентрационного контроля в технологических процессах.
Артикул: HE-960HI
HE-480C-GC, кондуктометр с графитовым электродом - HORIBA
HE-480C-GC — панельный кондуктометр низкоконцентрационного типа с химически стойким графитовым электродом. Предназначен для контроля электропроводности химических растворов, разбавления реагентов и рециркуляции ультрачистой воды в полупроводниковых wet-процессах.
Артикул: HE-480C-GC
HE-960LC, кондуктометр с графитовыми электродами - HORIBA
HE-960LC - низкоконцентрационный кондуктометр HORIBA с химически стойкими графитовыми электродами. Предназначен для контроля электропроводности химических растворов и ультрачистой воды в полупроводниковом и FPD-производстве.
Артикул: HE-960LC
