CS-700, монитор концентрации многокомпонентных растворов - HORIBA

Артикул: CS-700
Производитель: HORIBA
Наличие: Под заказ
CS-700 применяется для контроля концентрации компонентов в химических растворах, используемых в процессах производства полупроводников. Измерение выполняется методом абсорбционной спектроскопии. В предоставленной спецификации указаны диапазоны для HNO₃, HF, H₃PO₄, H₂SiF₆ и H₂O, а также сравнение с предыдущей моделью CS-100.
Описание Характеристики Рекомендуемые товары
Описание
Описание
CS-700 - монитор концентрации химических растворов HORIBA для высокоточного измерения отдельных компонентов в смешанных растворах, применяемых в полупроводниковом производстве. Прибор предназначен для контроля многокомпонентных химических составов, включая фирменные химические растворы.
Модель CS-700 используется для повышения точности управления химическими растворами и усиления контроля качества в технологических процессах производства полупроводников. Измерение выполняется методом абсорбционной спектроскопии.
Преимущества CS-700
- измерение концентрации компонентов в многокомпонентных химических растворах;
- применение в полупроводниковом производстве;
- поддержка контроля до 8 компонентов по сравнению с 4 компонентами у CS-100;
- до 6 химических диапазонов по сравнению с 4 диапазонами у CS-100;
- до 6 аналоговых выходов 4–20 мА для компонентов;
- связь через Parallel I/O, аналоговый выход и RS-232C.
Технические характеристики
| Параметр | Значение |
| Модель | CS-700 |
| Тип прибора | Монитор концентрации химических растворов |
| Назначение | Измерение концентрации отдельных компонентов в смешанных растворах, используемых в полупроводниковом производстве |
| Основное применение | Контроль многокомпонентных химических растворов, включая фирменные химические составы |
| Принцип измерения | Метод абсорбционной спектроскопии |
| Диапазоны измерения и повторяемость, единица измерения: мас. % | |
| 1-й раствор, HNO₃ | Диапазон измерения: 30,0…34,0 мас. %; повторяемость: ±0,5 мас. % |
| 1-й раствор, HF | Диапазон измерения: 2,00…4,00 мас. %; повторяемость: ±0,10 мас. % |
| 1-й раствор, H₃PO₄ | Диапазон измерения: 35,0…39,0 мас. %; повторяемость: ±0,6 мас. % |
| 1-й раствор, H₂SiF₆ | Диапазон измерения: 0,00…3,00 мас. %; повторяемость: ±0,50 мас. % |
| 1-й раствор, H₂O | Диапазон измерения: 25,0…33,0 мас. %; повторяемость: ±1,0 мас. % |
| Условия измерения | |
| Интервал измерения | Около 8 с |
| Скользящее среднее | 10 измерений |
| Колебание температуры окружающей среды и химического раствора | В пределах ±1 °C за 1 час; резких изменений температуры следует избегать |
| Температура пробы | 20…30 °C |
| Определение повторяемости | Максимальное отклонение от среднего измеренного значения за 1 час непрерывного измерения |
| Назначение значений на аналоговый выход | Значения из таблицы диапазонов назначаются на аналоговый выход 4–20 мА |
| Максимальное сопротивление нагрузки аналогового выхода | 500 Ом |
| Сравнение с предыдущей моделью | |
| Принцип измерения CS-100 | Метод абсорбционной спектроскопии |
| Принцип измерения CS-700 | Метод абсорбционной спектроскопии |
| Температура пробы CS-100 | 20…30 °C |
| Температура пробы CS-700 | 20…30 °C |
| Температура окружающей среды CS-100 | 20…25 °C |
| Температура окружающей среды CS-700 | 20…30 °C |
| Количество компонентов CS-100 | Максимум 4 компонента |
| Количество компонентов CS-700 | Максимум 8 компонентов |
| Химические диапазоны CS-100 | Максимум 4 диапазона |
| Химические диапазоны CS-700 | Максимум 6 диапазонов |
| Связь CS-100 | Parallel I/O, аналоговый выход, RS-232C |
| Связь CS-700 | Parallel I/O, аналоговый выход, RS-232C |
| Аналоговый выход 4–20 мА CS-100 | Максимум 2 компонента |
| Аналоговый выход 4–20 мА CS-700 | Максимум 6 компонентов |
| Габариты CS-100 | 205 × 329 × 269 мм |
| Порядок габаритов CS-100 | 205 мм ширина × 329 мм глубина × 269 мм высота |
| Габариты CS-700 | 218 × 391 × 213 мм |
| Порядок габаритов CS-700 | 218 мм ширина × 391 мм глубина × 213 мм высота |
| Питание CS-100 | 24 В DC |
| Питание CS-700 | 24 В DC, тот же разъём, что у CS-100 |
| Расходные части CS-100 | Галогенная лампа |
| Расходные части CS-700 | Галогенная лампа, того же типа, что у CS-100 |
| Диапазон длин волн CS-100 | UV/NIR |
| Диапазон длин волн CS-700 | UV/NIR |
| Материалы, контактирующие со средой, CS-100 | PTFE, PFA, сапфир или кварц |
| Материалы, контактирующие со средой, CS-700 | PTFE, PFA, сапфир, O-ring Kalrez 4079 |
Характеристики
| Область применения | Экологический мониторинг, Производство продуктов питания |
| Тип | On-line |
| Индустрия | Химическая, Полупроводниковая |
Рекомендуемые товары
HP-480, панельный pH-метр - HORIBA
HP-480 — компактный промышленный pH-метр для панельного монтажа. Предназначен для контроля pH в технологических процессах, водоподготовке и системах очистки сточных вод.
Артикул: HP-480
HP-480TP, панельный pH-регулятор - HORIBA
HP-480TP - компактный промышленный pH-регулятор для панельного монтажа. Предназначен для контроля pH и временного пропорционального управления в технологических процессах и системах очистки сточных вод.
Артикул: HP-480TP
Tocadero One, онлайн-анализатор TOC/TNb - HORIBA
Tocadero One - промышленный онлайн-анализатор общего органического углерода TOC и общего связанного азота TNb для непрерывного контроля воды, сточных вод и технологических сред.
Артикул: Tocadero One
HE-480H, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480H - промышленный панельный кондуктометр для контроля электропроводности, температуры и солёности. Предназначен для сточных вод, морской воды, гидропонных питательных растворов и технологического мониторинга.
Артикул: HE-480H
HE-960HC, кондуктометр с графитовым электродом (высококонцентрационный) - HORIBA
HE-960HC - промышленный панельный кондуктометр HORIBA для измерения электропроводности химических растворов в высоких концентрациях. Предназначен для процессов производства полупроводников и FPD, а также для контроля сточных вод.
Артикул: HE-960HC
CS-620F, волоконно-оптический анализатор концентрации горячей фосфорной кислоты - HORIBA
CS-620F — волоконно-оптический монитор концентрации горячей фосфорной кислоты H₃PO₄ для полупроводникового производства. Прибор выполняет измерение высокотемпературной фосфорной кислоты в реальном времени без охлаждения пробы.
Артикул: CS-620F
CS-600F, волоконно-оптический монитор концентрации химических растворов - HORIBA
CS-600F - волоконно-оптический монитор концентрации химических растворов для полупроводниковых процессов очистки и травления. Прибор предназначен для измерения высокотемпературных химических растворов, применяемых в wet-процессах.
Артикул: CS-600F
Рекомендуемые товары
HP-480, панельный pH-метр - HORIBA
HP-480 — компактный промышленный pH-метр для панельного монтажа. Предназначен для контроля pH в технологических процессах, водоподготовке и системах очистки сточных вод.
Артикул: HP-480
HP-480TP, панельный pH-регулятор - HORIBA
HP-480TP - компактный промышленный pH-регулятор для панельного монтажа. Предназначен для контроля pH и временного пропорционального управления в технологических процессах и системах очистки сточных вод.
Артикул: HP-480TP
Tocadero One, онлайн-анализатор TOC/TNb - HORIBA
Tocadero One - промышленный онлайн-анализатор общего органического углерода TOC и общего связанного азота TNb для непрерывного контроля воды, сточных вод и технологических сред.
Артикул: Tocadero One
HE-480H, панельный кондуктометр - HORIBA
HE-480H - промышленный панельный кондуктометр для контроля электропроводности, температуры и солёности. Предназначен для сточных вод, морской воды, гидропонных питательных растворов и технологического мониторинга.
Артикул: HE-480H
HE-960HC, кондуктометр с графитовым электродом (высококонцентрационный) - HORIBA
HE-960HC - промышленный панельный кондуктометр HORIBA для измерения электропроводности химических растворов в высоких концентрациях. Предназначен для процессов производства полупроводников и FPD, а также для контроля сточных вод.
Артикул: HE-960HC
CS-620F, волоконно-оптический анализатор концентрации горячей фосфорной кислоты - HORIBA
CS-620F — волоконно-оптический монитор концентрации горячей фосфорной кислоты H₃PO₄ для полупроводникового производства. Прибор выполняет измерение высокотемпературной фосфорной кислоты в реальном времени без охлаждения пробы.
Артикул: CS-620F
CS-600F, волоконно-оптический монитор концентрации химических растворов - HORIBA
CS-600F - волоконно-оптический монитор концентрации химических растворов для полупроводниковых процессов очистки и травления. Прибор предназначен для измерения высокотемпературных химических растворов, применяемых в wet-процессах.
Артикул: CS-600F




