CS-1000, система мониторинга химических растворов - HORIBA

Описание

CS-1000 - система мониторинга химических растворов HORIBA для контроля многокомпонентных растворов, используемых в полупроводниковом производстве. Прибор предназначен для управления концентрацией химических растворов, содержащих низкоконцентрированные компоненты на уровне ppm, включая растворы, применяемые в BEOL-процессах.

BEOL, или back end of line, относится к этапу формирования межсоединений в переднем цикле производства полупроводников. CS-1000 позволяет определять компоненты на уровне ppm без предварительной пробоподготовки. Для жидких компонентов 1 ppm соответствует 1 мг компонента в 1 л жидкости.

Система выполнена в виде самостоятельного шкафа all-in-one и устанавливается непосредственно на производственной площадке. Измеряемые параметры включают химическую концентрацию, электропроводность и pH. В системе применяются метод абсорбционной спектроскопии, 2-электродный метод измерения электропроводности и стеклянный электрод для pH.

Преимущества CS-1000

• контроль многокомпонентных химических растворов для полупроводникового производства;
• обнаружение низкоконцентрированных компонентов на уровне ppm без предварительной пробоподготовки;
• измерение химической концентрации, электропроводности и pH;
• исполнение в отдельном шкафу для установки на производственной площадке;
• поддержка аналогового выхода 4–20 мА и RS-485 Modbus RTU;
• соответствие CE, KC, FCC Rules Part 15, UKCA и SEMI S2.

Меры по применению

CS-1000 предназначен для мониторинга многокомпонентных химических растворов, используемых в процессах производства полупроводников. Составы целевых химических растворов в предоставленных данных не раскрыты; для подбора под конкретный технологический процесс производитель указывает необходимость обращения за деталями.

При установке необходимо соблюдать условия окружающей среды: температура 20…30 °C с изменением не более ±0,5 °C за 1 час, без резких перепадов температуры; влажность 40…70 % RH без конденсации. Питание системы — AC 190…240 В, однофазное, 50/60 Гц.

Для обслуживания предусмотрены заменяемые расходные материалы и детали, которые могут заменяться пользователем или сервисными инженерами HORIBA. К расходным позициям относятся галогенная лампа, дейтериевая лампа и реагенты pH 4, pH 7, KCl 3,33 моль/л с насыщением AgCl.

Технические характеристики